智能數顯壓力控制器的特點及應用

　　智能數顯壓力控制器是專為現場實時顯示壓力值并控制的智能化儀表；工業級產品設計，高品質壓力傳感器芯片和電子元器件；具有抗干擾，操作簡單等特點。

 

　　一、它的技術特點：

　　1、動態適時控制壓力，與傳統壓力控制器、穩壓器相比，此系列智能數字壓力控制器可自動控制氣體流量，精準控制、保持固定壓力值，不存在繼電器控制式的響應區間。

　　2、控制精度比傳統的機械式開關高，無噪音；

　　3、耐震、抗干擾強、響應快，性能穩定。

 

　　二、技術原理：

　　壓力傳感器是處于硅芯片表面的壓敏電阻橋。該芯片從其背面鉆出，給芯片內部形成壓力隔膜，其厚度決定壓力范圍。

　　當壓力作用于芯片時，壓膜彎曲，電阻橋的電阻值與壓力成比例地變化。測量元件通過超薄靈敏的不銹鋼隔膜與外部壓力隔開，隔膜和測量元件之間的密封腔充滿了油。

 

　　三、相關應用：

　　應用范圍較廣泛，例如，半導體工藝、氣相和液相色譜儀，MOCVD過程中蒸汽壓力控制，擠塑成型過程中氣體壓力保護控制，高壓釜、反應釜，氣密檢漏裝置等。

　　目前，MKS，Horiba，Alicat，Bronkhorst等進口品牌有此類產品，我司在國產化此類壓力控制方面已經積累了大量的實用經驗，產品性能基本可以與進口產品媲美。